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多関節産業ロボット
デンソーウェーブ VP-6242-E/GM
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クライオコンプレッサー
鈴木商館 C300K
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RF電源
アステック ASTECH ARF-1053
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電子線マイクロアナライザー
島津製作所 Shimadzu EPMA-1600
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超音波発振器
カイジョー Kaijo 4341i
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電子負荷装置
菊水電子工業 Kikusui PLZ150W
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ボルトメーター
菊水電子工業 Kikusui TOS8650
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ルクスハイテスタ
日置電機 Hioki 3422
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クリーンブース
PIC PI-3000R2
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クリーンベンチ
日立 Hitachi PCV1915BE2
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マニュアルワイヤーボンダー
キューリック・アンドソファ・ジャパン Ｋ＆Ｓ 4124
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写真準備中
スパッタ装置
日本電子 Jeol JUC-5000
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スピンコーター
PIC SEMIPIC-33
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JFC-1100E
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真空デシケーター
日本電子 Jeol EM-DSC10E
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ヘリウムリークディテクター
アルバック Ulvac DLMS-TP3E
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パーティクルカウンター
リオン Rion KM-33
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バイオクリーンベンチ
日本医科器械 VS-1600A
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ロータリーポンプ
ライボルト Leybold D16B
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油拡散ポンプ
ライボルト Leybold DIP3000
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ドライポンプ／メカブポンプ
樫山／アルバック SD60V II／PMB001CM
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ターボ分子ポンプ
ファイファー Pfeiffer TMH521P
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マッチングボックス
日本電子 Jeol EH-MN01A
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-822HG
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