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DC電源
DC電源（ピナクルプラス）
アドバンスドエナジー AE 型式 M/N 3152533-356C 管理番号 Z24101105
¥400,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | DC電源（ピナクルプラス） |
|---|---|
| メーカー | アドバンスドエナジー AE |
| 型式 | M/N 3152533-356C |
| 仕様 | 10KW |
| 備考 | 複数台有り |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z24101105 |
| 商品NO | 17550（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2024-10-11 |
| 最終取得日 | 2026-09-15 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | パルスDC電源(反応性スパッタ用) |
|---|---|
| 出力電力 | 10 kW |
| 出力電圧 | 325〜800 V |
| パルス周波数 | 5〜350(デューティ可変) kHz |
| アーク応答 | 蓄積エネルギー1mJ/kW未満、ハードアーク検出25µs未満、遮断200µs未満 |
| 出力再現性 | ±0.1%(定格の10〜100%) |
| 入力電源 | 三相200/208、400、480VAC(±10%)50〜60Hz、中性線不要 |
| 効率・力率 | 効率90%超、力率0.95超 |
| 制御インターフェース | 37ピンアナログ(0〜10V/0〜5V)、RS-232/422/485(AE Bus)、Profibus、DeviceNet |
| 外形寸法(コネクタ含む) | 3U: 128(H)×483(W)×574(D) mm |
| 質量 | 21.8〜25.9(構成による) kg |
出典: advancedenergy.com
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