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アライナー
キヤノン Canon 型式 PLA-501S 管理番号 Z21100816
¥3,000,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | アライナー |
|---|---|
| メーカー | キヤノン Canon |
| 型式 | PLA-501S |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z21100816 |
| 商品NO | 14146（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2021-10-11 |
| 最終取得日 | 2026-09-18 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 露光方式 | コンタクト(ソフト/ハード)・プロキシミティ |
|---|---|
| 光源 | 超高圧水銀ランプ(250W。500W仕様もあり) |
| 露光波長 | g線436・h線405・i線365の紫外広帯域 nm |
| アライメント方式 | 分割視野顕微鏡による手動(X・Y・θ) |
| ウエハ搬送 | キャリアからの自動ロード/プリアライメント(手動ロードも可) |
出典: research.engineering.ucdavis.edu
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商品ID: 501
¥3,000,000
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